Microlight3D无掩模光刻机 SmartPrint UV System

DMD无掩模光刻机SMART PRINT UV（简：SP-UV)是一种基于DMD投影技术的无掩模光刻设备，可兼容多种光刻胶和基材。SMART PRINT UV可以生产任何微米分辨率的二维形状，而不需要硬掩模。基于改进后的标准投影技术，投影出具有微米分辨率的图像，无掩模光刻机SmartPrint无需任何进一步步骤，就能直接从数字掩模光刻出您要的图。无掩模光刻机SmartPrint主要应用是MEMS, 微流体，二维材料，自旋电子学，生物技术和微电子等领域光刻表面微纳图案。

主要特性：

兼容SU-8、i、h、g线和AZ系统光刻胶等

SmartPrint-UV配备了385 nm LED源，以兼容标准i, h和g线光刻胶，如SU8或AZ®1500系列

适用于各种各样的基材

我们的物镜范围经过精心选择，具有较长的工作距离(高达3厘米)，使SP-UV成为一种非接触式技术；除了硅、玻璃、塑料、金属等基材还可兼容非标准基材(柔性薄膜基底，非平的，厚的)。

可调直写范围和分辨率——用户可获得4种不同的直写分辨率        

特征尺寸1.5um                                                                     

兼容任何尺寸的样品，可至5平方英寸                                                      

对齐方式直观——反馈相机与第二束590nm准直光源叠加使用        

占地空间小，易维护

应用领域：

                 光器件                                                      微流控                                        微电子

指标参数：

       Microlight3D是法国一家生产用于工业和科学应用的高分辨率微尺度2D和3D打印系统的专业制造商。智能UV打印(SP-UV)系统，是该公司新产品。这是一种配有一个385 nm的紫外LED光源，基于DMD（Digital Micromirror Device）的quan新无掩模光刻系统，因此SP-UV可以兼容所有标准的微电子光刻胶，包括微流体应用中不可或缺的i-line光阻剂SU-8。这一特点为半导体加工领域的开发人员，在光刻胶材料的选择上提供了更加广阔的空间。DMD无掩膜光刻机SP-UV的优势是对DMD光学投影技术的应用。这一技术在提高直写精度和速度的同时，提供了四种不同的直写分辨率。搭配Microlight3D的“快速切换”物镜系统，仅需2秒就能完成分辨率切换。

       Microlight3D是高分辨率 微尺度 2D和3D打印系统的专业制造商。Microlight3D致力于满足科学家和工业研究人员新的设计加工需求，以及高精度生产任何几何或非几何形状的微型零件。通过结合2D和3D微纳打印技术，Microlight3D为客户提供了制造更大尺寸复杂部件的灵活性。它的目标是为未来的新兴领域提供更快、更复杂的微型制造系统。Microlight3D的设备现用于微光学、微流体、微机器人、超材料、细胞生物学和微电子学等。

       Microlight3D在2016年成立于法国格勒诺布尔，在Grenoble Alpes大学(UGA)进行了超过15年的3D微纳打印技术研发。Microlight3D首xi执行官Denis Barbier表示:“Microlight3D的SP-UV技术可以与更广泛光刻胶材料相兼容。在为无掩模光刻的应用开拓了新的领域的同时，满足了开发人员对多功能性和可负担性的需求。”“我们使芯片实验室和其他领域(光电子学、MEMS、自旋电子学)的研究人员可以更容易、更快速地在较大表面积上(120x120 mm²)，加工微米分辨率的复杂结构。由于该系统集成度非常高，使各种用户都可以无障碍的使用，我们也因此希望SP-UV在微流体以及各个领域中的小批量生产上开辟新的市场机会。”

部分案例图片如下：